二、整機系統(tǒng)組成

1. 核心純化單元：可按需配置減壓精餾塔、多柱吸附純化模組、PFA 精密過濾組件，分離去除微量金屬雜質(zhì)、顆粒物、水氧、異構(gòu)雜質(zhì)；

2. 防爆動力電控單元：全部電機、傳感器、電磁閥、觸控元件采用防爆元器件，整機接地防靜電，密閉管路抑制可燃氣體外泄；

3. 惰性氣體防護單元：高純氮氣微正壓隔絕空氣，抑制溶劑揮發(fā)、物料氧化，規(guī)避爆炸混合氣生成；

4. 在線監(jiān)測自控單元：實時管控溫度、真空度、壓力、電導(dǎo)率、金屬離子參數(shù)，支持全自動連續(xù)運行、DCS 遠程聯(lián)動；

5. 安全配套單元：配置緊急泄壓、溶劑廢氣回收、泄漏傳感報警、水冷降溫防護組件。

三、核心技術(shù)優(yōu)勢

1. 全域防爆安全：整套電氣達到工業(yè)防爆標準，密閉無揮發(fā)結(jié)構(gòu)、氮氣隔絕、防靜電設(shè)計，適配防爆車間高危作業(yè)；

2. 低析出高純材質(zhì)：物料通路選用拋光 316L 不銹鋼、PFA、石英材質(zhì)，金屬離子析出可控至 ppb 級別，滿足 SEMI 電子化學(xué)品等級；

3. 多工藝靈活適配：可組合精餾、吸附、膜除雜工藝，適配醇類、醚類、酯類、酮類各類易燃電子溶劑；

4. 模塊化撬裝結(jié)構(gòu)：整機集成撬裝，到場對接管線即可投產(chǎn)，小試、中試、工業(yè)化量產(chǎn)機型齊全。